德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台型号 P-616.3C

产品参数：

型号：P-616.3C

主动轴：X、Y、Z

-20至120伏时的开环行程：110/轴微米

行程，闭环：100/轴微米

分辨率，1s，开环：0.3纳米

分辨率，1s，闭环：0.4纳米

线性误差：0.03%

双向重复精度，1s，10%行程范围内：<10纳米

双向重复精度，1s，100%行程范围内：<15纳米

传感器类型：电容式传感器

刚度：0.5牛/微米

X/Y/Z向上的空载谐振频率：700赫兹

带38克负载的谐振频率X/Y/Z：380赫兹

带100克负载的谐振频率X/Y/Z：250赫兹

推/拉力大小：15牛

最大允许转矩：0.4牛米

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-616.3C