德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-363.3CD

产品参数：

型号：P-363.3CD

主动轴：X、Y、Z

集成传感器：电容式

-250至+250伏时X、Y向上的开环行程：±3微米

-250至+250伏时Z向上的开环行程：±2.7微米

X、Y向上的闭环行程：±2.5微米

Z向上的闭环行程：±2.5微米

分辨率，开环：0.03纳米

分辨率，闭环：0.1纳米

线性误差：0.05%

重复精度：1纳米

X、Y向上的螺距/偏转角：0.5微弧度

Z向运动时的倾斜：0.2微弧度

X、Y向上的直线度：3纳米

X、Y向上的平面度：<10纳米

X、Y向上的串扰（Z向运动）：5纳米

X、Y向上的空载谐振频率：3.1千赫兹

Z向上的空载谐振频率：9.8千赫兹

带负载时X、Y向上的谐振频率：1.5(20克)千赫兹

负载容量：10牛

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-363.3CD

应用领域：

扫描探针显微镜

原子力显微镜

扫描和筛选

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-363.3CD

应用领域：

扫描探针显微镜

原子力显微镜

扫描和筛选

产品参数：

型号：P-363.3CD

主动轴：X、Y、Z

集成传感器：电容式

-250至+250伏时X、Y向上的开环行程：±3微米

-250至+250伏时Z向上的开环行程：±2.7微米

X、Y向上的闭环行程：±2.5微米

Z向上的闭环行程：±2.5微米

分辨率，开环：0.03纳米

分辨率，闭环：0.1纳米

线性误差：0.05%

重复精度：1纳米

X、Y向上的螺距/偏转角：0.5微弧度

Z向运动时的倾斜：0.2微弧度

X、Y向上的直线度：3纳米

X、Y向上的平面度：<10纳米

X、Y向上的串扰（Z向运动）：5纳米

X、Y向上的空载谐振频率：3.1千赫兹

Z向上的空载谐振频率：9.8千赫兹

带负载时X、Y向上的谐振频率：1.5(20克)千赫兹

负载容量：10牛