型号:P-527.RCD
主动轴:X、Y、θZ
集成传感器:电容式
带500克负载时X、Y向上的谐振频率:190赫兹
带2500克负载时X、Y向上的谐振频率:110赫兹
负载能力:5千克
工作温度范围:-20到80°C
材料:铝
质量:1.4
德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-527.RCD
应用领域:
计量
干涉测量
光子学/集成光学
平版印刷术
纳米定位
扫描显微镜
样本对准
微加工
德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-527.RCD
应用领域:
计量
干涉测量
光子学/集成光学
平版印刷术
纳米定位
扫描显微镜
样本对准
微加工
型号:P-527.RCD
主动轴:X、Y、θZ
集成传感器:电容式
带500克负载时X、Y向上的谐振频率:190赫兹
带2500克负载时X、Y向上的谐振频率:110赫兹
负载能力:5千克
工作温度范围:-20到80°C
材料:铝
质量:1.4