德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台型号 P-562.6CD

产品参数：

型号：P-562.6CD

主动轴：X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y、Z向上的闭环行程：200微米

θX、θY、θZ向上的闭环偏摆角：±0.5毫弧度

X、Y、Z向上的闭环分辨率：1纳米

θX、θY、θZ向上的闭环分辨率：0.1微弧度

X、Y和Z向上的线性误差：0.01%

θX、θY、Z向上的线性误差：0.1%

X/Y/Z向上的重复精度：±2/±2/±3纳米

θX/θY/θZ向上的重复精度：±0.1/±0.1/±0.15微弧度

平面度：<15纳米

X/Y/Z向上的空载谐振频率：110/110/190赫兹

负载能力：5千克

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-562.6CD