德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台型号 P-587.6CD

产品参数：

型号：P-587.6CD

主动轴：X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y向上的闭环行程：800微米

Z向上的闭环行程：200微米

θX、θY向上的闭环偏摆角：±0.5毫弧度

θZ向上的闭环偏摆角：±0.5毫弧度

X、Y向上的开环/闭环分辨率：0.9/2.2纳米

Z向上的开环/闭环分辨率：0.4/0.7纳米

θX、θY向上的开环/闭环分辨率：0.05/0.1微弧度

θZ向上的开环/闭环分辨率：0.1/0.3微弧度

X、Y和Z向上的线性误差：0.01%

θX、θY、Z向上的线性误差：0.1%

X、Y向上的重复精度：±3纳米

Z向上的重复精度：±2纳米

θX、θY向上的重复精度：±0.1微弧度

θZ向上的重复精度：±0.15微弧度

平面度：<15纳米

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-587.6CD