德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台型号 P-733.3CDP-733.3CL

产品参数：

型号：P-733.3CDP-733.3CL

主动轴：X、Y、Z

集成传感器：电容式

-20至120伏时的开环行程：115微米×115微米×12微米

行程，闭环：100微米×100微米×10微米

分辨率，开环：0.2（Z向上为0.1）纳米

分辨率，闭环：0.3（Z向上为0.2）纳米

线性误差（X、Y）：0.03%

线性误差（Z）：0.03%

重复精度（X、Y）：<2纳米

重复精度（Z）：<1纳米

螺距（X、Y）：<±3微弧度

偏转角（X、Y）：<±10微弧度

Z向运动时的倾斜：<±5微弧度

刚度：1.4（Z向上为9）牛/微米

谐振频率，空载：460（Z向上为1400）赫兹

带120克负载时的谐振频率：340（Z向上为1060）赫兹

带200克负载时的谐振频率：295（Z向上为650）赫兹

运动方向上的推/拉力：50/20牛

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-733.3CDP-733.3CL