德国PI 位移台

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-528.TCD

应用领域：

计量

干涉测量

光子学/集成光学

平版印刷术

纳米定位

扫描显微镜

样本对准

微加工

型号：P-528.TCD

主动轴：Z,θX,θY

集成传感器：电容式

-20至120伏时Z向上的开环行程：240微米

θX、θY向上-20至120伏时的开环偏摆角：±1.2毫弧度

Z向上的闭环行程：200微米

θX、θY向上的闭环偏摆角：±1毫弧度

Z向上的开环分辨率：0.6纳米

θX、θY向上的开环分辨率：0.06微弧度

Z向上的闭环分辨率：1纳米

θX、θY向上的闭环分辨率：0.1微弧度

θX、θY向上的线性误差：0.03%

Z向上的重复精度：±10纳米

θX、θY向上的重复精度：±0.1微弧度

θZ向上的串扰（Z向运动）：<20微弧度

θX、θY向上的串扰（Z向运动）：<100微弧度