英国Hiden Analytical品牌分析仪系统集成应用

英国Hiden Analytical品牌分析仪系统集成应用

表面化学气相沉积（CVD）系统

该系统是将Hiden Analytical的质谱仪与CVD反应室集成在一起，提供实时反应监测和分析，以优化CVD过程。此系统可用于涂层制备、纳米材料制备和半导体器件制备等应用。

等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统

该系统是将Hiden Analytical的质谱仪与PECVD反应室集成在一起，提供实时反应监测和分析，以优化PECVD过程。该系统可用于制备涂层、薄膜和光电器件等应用。